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宏量粉体ALD仪器产业化项目

行业分类数字新基建类-信息化建设项目
所在省份安徽
项目阶段项目已立项
建设单位—
项目地址合肥市 合肥高新技术产业开发区 项目位于合肥高新区望江路中安创谷三期N7栋-101
信息更新时间2026-09-04

项目建设内容

1.项目利用租赁场地建设10公斤级粉末ALD设备研发区、整机装配调试区、四大粉体工艺中试试验区、检测实验室;开展粉末ALD专用沉积设备整机研发、结构优化、零部件测试、样机装配与性能调试;2.项目建设周期为:2026年10月至2028年9月。

项目历史及最新情况

时间状态/成果批复内容附件/来源
2026-09-04 项目备案 项目代码:2609-340161-04-02-689026;批复日期:2026-09-04;事项:技术改造项目备案