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半导体外延设备工艺能力提升技术改造项目

行业分类数字新基建类-信息化建设项目
所在省份安徽
项目阶段项目已立项
建设单位—
项目地址南谯经开区 安徽省滁州市南谯区皇庆湖路666号
信息更新时间2026-09-03

项目建设内容

针对外延设备集群实施技术改造,主要开展设备腔室、加热温控、真空传输、工艺气路等硬件升级改造,同步实施水、电、洁净环境等厂务公用工程适配优化,提升外延片生产良率与工艺稳定性。我司承诺在取得环评、能评、安评等批复后方可实施该项目。

项目历史及最新情况

时间状态/成果批复内容附件/来源
2026-09-03 项目备案 项目代码:2609-341103-04-02-949634;批复日期:2026-09-03;事项:技术改造项目备案