| 行业分类 | 产业载体类-工厂厂房项目 |
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| 所在省份 | 安徽 |
| 项目阶段 | 项目已立项 |
| 建设单位 | — |
| 项目地址 | 合肥市 庐阳经开区 安徽省合肥市庐阳区林店街道天水路168号中科大校友创新园5号楼 |
| 信息更新时间 | 2026-09-01 |
建设内容：国际领先国产自主可控的高端半导体尾气处理设备与综合解决方案。项目租赁厂房约2550平方米，建设半导体工艺尾气处理设备生产线，涵盖电磁加热水洗、LNG红外燃烧、等离子水洗、干式吸附、纯水洗、无水混合式六条技术处理路线。项目全面达产后，形成年产半导体尾气处理设备1200台（套）的产能。
| 时间 | 状态/成果 | 批复内容 | 附件/来源 |
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| 2026-09-01 | 项目备案 | 项目代码：2609-340103-04-02-624620；批复日期：2026-09-01；事项：技术改造项目备案 |